NIKKO DENKI CORPORATION ／ TECHNICAL BLOG

半導体製造装置の電源に
日幸電機のトランスが選ばれる
5つの理由

高精度・低ノイズ・カスタム対応——電源品質が歩留まりを左右する半導体プロセスに、日幸電機の変圧器がどう貢献するかを解説します。

NIKKO DENKI ／ TRANSFORMER & POWER SOLUTIONS ／半導体装置向け技術情報

半導体製造装置・検査装置において、電源品質の善し悪しはプロセスの安定性・歩留まりに直結します。電圧変動・高周波ノイズ・絶縁不良——これらは微細化が進む現代の半導体プロセスにとって致命的なリスクです。日幸電機株式会社は、トランス・変圧器の専門メーカーとして長年の実績を持ち、半導体装置向け電源に求められる厳しい要求に対応したカスタムトランスを提供しています。

// BACKGROUND

半導体装置の電源が抱える、3つの根本課題

露光装置・CVD装置・エッチング装置・イオン注入装置・検査装置など、半導体製造に使われる各種装置は、それぞれ異なるが共通した電源要件を持ちます。

① ノイズ・電圧変動への敏感さ

プロセス制御系・センサ系の電源が少しでも揺れれば、計測誤差や制御ずれが生じます。数ナノメートルの精度を要求する工程では、電源ノイズが直接的な不良原因になり得ます。

② 高い絶縁品質の要求

プラズマ・高電圧系が混在する装置では、回路間の絶縁耐圧・コモンモードノイズ遮断が不可欠です。絶縁不良は装置破損だけでなくウエハ・チップの汚損にも直結します。

③ 多品種・少量のカスタム要求

装置ごとに入出力電圧・周波数・形状・コネクタが異なります。汎用品では対応しきれないケースが多く、専門メーカーによる柔軟なカスタム設計が求められます。

// WHY NIKKO DENKI

日幸電機のトランスが選ばれる 5 つの理由

高精度な電圧変換と優れた電圧安定性

日幸電機のトランスは巻線の精度管理を徹底しており、設計値に対する出力電圧精度が高水準です。半導体プロセス制御に求められる安定した電力供給を実現し、電圧変動による工程ばらつきを最小化します。

高い絶縁性能とノイズ遮断能力

静電シールド付き絶縁トランスの設計実績を持ち、コモンモードノイズの遮断、一次・二次間の高絶縁耐圧を実現します。高電圧系・プラズマ系が混在する半導体装置でも、センシティブな低圧制御系を確実に保護します。

豊富なカスタム設計対応力

入出力電圧・周波数・容量・形状・端子仕様まで、装置の要求仕様に合わせたワンストップカスタム設計が可能です。試作から量産まで一貫して対応し、装置メーカーの開発スピードを落としません。複数の巻線（多巻線設計）にも対応し、1台のトランスで複数の電源電圧を取り出す合理化設計も支援します。

コンパクト設計と発熱の低減

半導体装置は実装スペースが限られており、トランスの小型化・省スペース化は重要な要素です。日幸電機は鉄心材料の選定・巻線構造の最適化により、低損失・低発熱・小型化を両立します。装置内の熱設計にも貢献し、冷却コストの削減にもつながります。

国内製造による品質管理と長期安定供給

日幸電機は国内製造にこだわり、各工程での品質管理を徹底しています。半導体装置は長期間稼働し、ライフサイクルも長いため、長期にわたる安定供給・保守部品対応が重要です。万が一の不具合時にも迅速なサポートと設計変更対応が可能です。

// USE CASES

日幸電機トランスが活躍する半導体装置

🔬

露光装置（スキャナ/ステッパ）

光学系・ステージ制御電源の高精度化・ノイズ遮断に

⚡

CVD・PVD装置

高周波電源・ヒーター電源系の絶縁と安定供給

🌀

ドライエッチング装置

プラズマ電源・バイアス電源系の高絶縁設計

💉

イオン注入装置

高圧電源系と低圧制御系を分離する絶縁トランス

🔎

外観・電気検査装置

センサ・計測系への低ノイズ安定電源供給

🤖

搬送ロボット・ハンドラ

モータ駆動とセンサ系の電源分離・省スペース化

// COMPARISON

汎用品 vs 日幸電機カスタムトランス——比較早見表

比較項目	汎用トランス	日幸電機カスタム
電圧仕様の自由度	標準品のみ	任意の入出力電圧に対応
ノイズ遮断（静電シールド）	非対応が多い	オプションで設計対応
形状・取付け寸法	標準形状のみ	装置スペースに合わせて設計
多巻線設計	選択肢が少ない	複数の電源電圧を1台で対応
長期安定供給・保守対応	廃番リスクあり	長期供給・設計継続対応
試作・少量対応	MOQ高め	少量試作から対応可